[問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜

[twkscat (@@)]

大家好

  小弟目前遇到一個問題

  用三用電錶,四點探針以及霍爾量測無法量到我的ZnO薄膜

  不知道還有什麼其他方法可以量測


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.116.175.81
推 saram:一架好幾萬. 高阻抗薄膜製造業專用的.
推 conceal2:度兩片平行電極 去量測電流 換算電阻....
推 saram:那要加直流高壓才有用的