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※ 引述《cellowu (要操才會強)》之銘言: : ※ 引述《twkscat (@@)》之銘言: : : 大家好 : : 小弟目前遇到一個問題 : : 用三用電錶,四點探針以及霍爾量測無法量到我的ZnO薄膜 : : 不知道還有什麼其他方法可以量測 : 我的ZnO 是用sputter 長上去的 : target 為AZO 97% ZnO 3% Al : 長出來的膜厚為500nm 這樣用三用電錶量就量的出來電阻了 : (四點探針還沒做)以上是我的經驗給你參考一下 AZO薄膜我也鍍過,薄膜本身就很好測 但是過高電阻的i-ZnO薄膜就沒辦法了 我都試過了 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.116.175.81