推 s75287: 母膜結構是什麼? Si? SU-8? 08/26 13:32
→ pierre: 母模式SI，然後打ICP 08/26 14:07
推 kevinlee49: 用脫膜劑,損傷應該會比較小 08/27 16:41
→ blueseas: 嘗試讓PDMS別太硬 10/05 19:11
請問一下
我的母模wafer圖案是
一排個凹下去的洞40umx40um中間有一個一個凸起來 長寬高=40x4x30um的長方形
所以我翻起來的圖案 是一排40x40um的正方形中間有一個寬4um的凹槽30um深
但我現在遇到問題是
在我翻完母模後，我去看sem有一半以上wafer 4um 的凸起都斷掉了
我確認再翻模前我的wafer是正常的
所以問題應該是翻模過程中損壞我的wafer
不知道有沒有人遇過類似的問題或建議??
我pdms製成是
我用piraha洗我的wafer,烤乾後把母模放到烤盤，滴上silane加熱110C，30min
到入10:1的pdms，抽完真空後烤150C，15min，放涼後直接用手翻
不知道有沒有甚麼能夠改善我翻模損壞母模的問題??
目前的想法是如果考硬一點不知道會不會有幫助
麻煩大家了謝謝
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