→ rickeryao:別這麼說~感謝你今天下午不厭其煩的測試~ 02/20 17:03
蒸鍍機-A 目前 TH1 閘道無法使用
請有需要進行蒸鍍的使用者以TH2 閘道進行操作
目前 TH2 第三格的位置是無法使用的(最裡面那一個)
請將需要蒸鍍的靶材放置在第一格以及第二格上並使用相對應的閘刀操作
目前測試結果Ag,Al,Ca皆可成功完成蒸鍍
(Ag,Al在Deposition開始後會有power暴衝現象, 請各位以手動方式控制power)
如有操作上的問題可以與我聯繫
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另外已與工程師聯繫, 他會盡快為我們排解問題
感謝 Yao 在第一時間就通知我! 也請大家操作時請務必更加小心使用!Thanks
Gaspard
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