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由於手B氧值偏高 將於本週五(5/25)晚上做再生保養 故至下週一(5/28)早上這段時間,手B將完全暫停使用 無法做spin coating以及藥品進出 再生完之後水氧會稍微偏高,故會順便進行較長時間之purge處理 另已貼公告於手B機台上 此次再生保養操作者: 趙翊翔 感謝大家配合 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.0.109