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阿先. 半導體製程的CVD 意思是指化學氣相沉積. 蝕刻結束後參雜三價or五價離子(1000度) 所需要用到的過程. -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.240.183
Helilo:謝啦~雖然這樣還是不大懂詳細過程...... 推 140.112.243.84 11/17