[材料] ITO薄膜蝕刻

[oax (風平浪靜?)]

請問一下，該如何蝕刻ITO?

我現在有一片玻璃基板，上面鍍一層ITO薄膜，在ITO上面有金patterned的結構，

不知道有沒有濕式蝕刻的方式吃掉裸露的ITO部分，但不會蝕刻掉底下玻璃和上面

的金結構? 感謝~

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◆ From: 140.126.251.111
推 dimo:假若你的ITO是為非晶形ITO可以利用草酸溶液進行
→ dimo:假若ITO是為多晶形ITO   那就只好利用高濃度HCl或者王水
→ dimo:不過這對你底層的金會有傷害
→ oax:感謝回答，不過我想進一步問草酸濃度要多少，還有蝕刻時間
推 dimo:一般商業用的草酸通常是3.4wt%左右,蝕刻時間的話就不一定
→ dimo:根據之前的經驗   大概在2min以內可以蝕刻結束(100nm ITO)
→ dimo:不過這跟ITO表面的情況有相關  我之前也是有做過蝕刻時間
→ dimo:一小時都還沒有蝕刻完全的  最好自己做一次蝕刻會比較保險
→ oax:謝謝dimo大，我會試試看~