推 chenyppl:不怕污染與氧氣的話 可用石墨,怕污染可用石英晶舟 01/04 01:07
各位板上的大家好
想請教大家一個問題
如果有一道製程 需要一片板子大約1400mm x 1100mm x 5mm
板子上需要承載玻璃基板 到一個爐子裡做薄膜的動作
在爐子理溫度是600度 而且板子是從室溫直接進到600度
然後加熱30分鐘 然後直接又進入室溫
之前有用Ceramic 但會裂
可以給我建議用甚麼材料比較好嗎??
謝謝大家
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