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各位先進: 想請教一下關於有機材料在共摻雜時,該如何了解其摻雜的比例呢? 我是用石英震盪片偵測膜厚的,例如我要把A跟B共摻雜比例為5:1,鍍20nm好了, 那我等兩個材料的蒸鍍溫度到了之後同時開檔板嗎? 我不曉得該如何觀察膜厚計所顯示的厚度與我的摻雜比例關係。 我猜想是需要改變蒸鍍速率嗎?讓我的A材料鍍快一 點,B材料鍍慢一點, 等膜厚到了關檔板,只是不曉得比例是????? 請各位有經驗的人們交交我吧,謝謝大家~~~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.130.21.101