[問題] 請問sputtering coating 跟spin coating

[Schmidt ()]

        請問一定要用sputtering而不能用spin coating的理由有哪些啊？

        又，有沒有數據統計過這兩種方法的uniformity的差異？

        還有兩種方法被應用的厚度範圍大概在哪？

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◆ From: 118.169.200.202
推 superkingkon:第一種  可以得到較純的相呀
→ superkingkon:前項為物理  後項化學呀