[材料] 蝕刻液的選擇

[hill48 ()]

請問各位大大：

1.有無何種酸鹼溶液對砷化鎵及其氧化物
  有很大的選擇蝕刻比呢？

2. 那如果是對砷化鎵及銦化鎵呢？


麻煩各位了，謝謝！

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◆ From: 140.113.87.246
推 catail:建議可以去NEMS板看....那邊有很多蝕刻參數