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最近使用蒸鍍機台 裡面有裝了石英振盪片 用來量測膜厚的 我想了解石英振盪片測膜厚的原理 因為想做一份這方面的報告 不過查到的資料 都很簡短的只說到振盪頻率和鍍上去的厚度有關 或是說振盪頻率會符合某某公式(給了一個公式) 我想知道的是 這些公式怎麼來的 不知我該如何得到這方面的訊息 網路上也找了 圖書館也去找了 真的沒辦法了 來這裡請求各位大大囉 是否在某本書上有看過 或哪個網頁有介紹 http://www.ic160.com/bbs/info/20071122220849.htm 這是我找到算比較詳細的 不過 最初的公式怎麼來 我真的想不出來@@ 絕對不是要把功課丟給大家 只是希望能在這獲得一點點這方面的資訊 如果大大們 有這方面的一點點訊息 希望能提供給我知道囉 萬分感謝^^ -- ※ 編輯: coyoyo 來自: 140.117.32.119 (12/07 19:37)
wanttu:查壓電公式 印象中是這樣 12/07 21:15
coyoyo:裡面提到 AT切割的石英壓力效應固有頻率為1/22Qncfdp=... 12/07 23:16
coyoyo:不知該如何得到這公式~~@@ 12/07 23:16
wucy:記得可以用Surgery,可以由頻率估算質量,但不知道如何估算 12/09 00:28
wucy:的uniformity 12/09 00:29