[製程] sol-gel 作SiO2薄膜的厚度

[wuchengyi (巫婆婆)]

目前看到的sol-gel SiO2薄膜都接近100nm以上到幾um，
想知道是否可以利用此法製作SiO2 的10nm薄膜？

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 114.37.133.223
推 kinraku:用CVD可以做1nm的說
推 cougarchen:spin-coating
推 yeh0906:可以做到10nm阿只是你想做成particle還是film的10nm
推 akea:spin應該沒辦法吧...