推 YJM1106:低溫氣體密度高 抽起來比較有效率 05/12 21:16
→ YJM1106:不過這邊不是這個原因，是要把偵測器降溫用的～ 05/12 21:20
→ nick155555:是因為有EDX才加液態氮的~而不是因為SEM機台需加液態氮 05/12 21:24
推 kriz:EDX detector需要冷卻...主要是FEG type才會要求低真空度 05/13 12:25
→ kriz:hot-fliament就隨便一顆JEOL機械pump抽一抽就搞定了。 05/13 12:26
→ kriz:TEM就真的需要液態氮冷卻試片週邊汙染物的cold trap 05/13 12:27
→ bbandbb:為了降低電子束激發所產生的熱量，達恆溫效果 05/13 15:09
→ idkttn:SEM的液氮冷卻線路是在最接近樣品的鏡頭週圍做冷卻 05/13 19:19
→ idkttn:主要是避免電子束能量造成樣品有汽化現象後吸入主腔體內部 05/13 19:20
→ idkttn:個人覺得低溫也有助於提昇掃描後的清析度 05/13 19:21
→ kriz:FE-SEM我用過的似乎沒在物鏡附近做冷卻線路...你用的型號是? 05/17 00:47