→ yen21:幾度? 熱應力太大吧 07/01 17:40
→ wang0719:回樓上~600度 07/01 18:43
→ Dennynyo:升溫速率慢一點? 或是取出時溫差太大? 07/01 19:04
我遇到一個問題
我要sputtering 兩層薄膜
但在退火的完以後膜裂掉了
結構是lsmo/pt/TiN/Ti/SiO2/Si
退火速率每分鐘20度
lsmo的熱膨脹約12
pt約9
這樣子為什麼退火完以後薄膜還會裂掉呢??
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◆ From: 210.240.249.242