[製程] 高分子進行旋轉塗佈後膜厚的量測方法?

[springXrain (QQ)]

我之前測膜厚的方法

是在要塗佈的元件一側貼上3M的貼紙 然後進行旋轉塗佈

接著把貼紙撕開 用測膜機(α-step)量測膜厚

可是量的時候發現原貼紙與膜的交接處會發生堆積現象

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   堆積的地方


導致實驗數據不准

請問有更好的測量膜厚方法嗎?

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.129.9.33
推 afunism:算厚度時不要考慮高起來那部份就好啦
推 xcent:α-step可以調整掃描的長度，調長一點，高起來的不要算就好
→ springXrain:了解~~謝謝兩位^^
推 Dennynyo:貼紙的黏膠不會附在基板上嗎 @@?
→ springXrain:會~~我學長是叫我用丙酮清洗
→ chenyppl:如果薄膜厚度不是非常厚  可以試試橢圓儀
→ leox243:有些N&K會建有光組參數，可以試試
→ leox243:橢圓儀的話之前才被NDL的工程師說膜太厚(100nm)很難fit XD
→ chenyppl:真的嗎  樓上  可以拿sample給我   我幫你試試
推 leox243:真的嗎XD 我下下禮拜還要送一批去NDL量 到時順便請你試試
→ sin30:範圍量大一點，一般堆積應該會有小山峰(如左--^--)，
→ sin30:就量小山峰的兩側~~~
→ sin30:有afm也可以掃啦~~不過是大材小用