[問題] powder壓片後進入SEM機台

[coyoyo (yoyo)]

請問一下

如果powder壓片後  (未經燒結過程)

進入SEM機台  以10kV的加速電壓去打樣品

這樣的樣品有可能會被再打成粉嗎？

現在怕的是 變成粉後 真空度變差 直接傷到Gun

我的樣品是 MnO2 和 Ga2O3 的壓片

請有這方面經驗的前輩提供一下經驗囉

第一次做powder的壓片~

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.179.26
※ 編輯: coyoyo          來自: 140.117.179.26       (07/28 01:23)
推 AQUAzero:粉末放一點在碳膠上 壓一下 用壓縮空氣噴一噴 就差不多了
→ AQUAzero:有看過粉末壓片 抽真空時直接從攝影機看到粉飛散出來
→ AQUAzero:過不久 幫浦就故障了 其實還輪不到燈絲就是了
→ AQUAzero:不導電的粉末在電子束的charging下 會振動 嚴重的會亂跳
→ AQUAzero:所以還是該燒結就燒結 不燒結 就放在碳膠上吧
→ likerain0229:如果你不怕腔體出事就上吧..