→ xcent:錫 也許可以...但不確定形成尺度... 09/13 17:32
→ leox243:錫...倒是沒想過 改天來試試 THX 09/14 16:21
最近要做微遮罩，本來要用PS球來做，不過好像不太適合
所以轉而用金屬來做
基板是SiOx或是Si，想在上面鍍上金屬後加溫，讓金屬聚集成島狀或是球狀來當遮罩
之前試過金，可以靠溫度和厚度的不同達成目的，
也試過鋁，但是鋁就沒辦法，SEM下面看不出來有島狀或是球狀
用金會有兩個問題，第一很容易和Si共晶，第二很貴 囧rz
想問問還有哪些金屬在加溫後(1000度C以下)可以在我的基材上形成島狀或是球狀的結構
想形成的尺度大概在50nm~1000nm之間(之前我做金可以在50nm到300nm左右)
m(_._)m 先在這邊感謝各位版友看完我的問題
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