推 ouo:試片不導電在常態的SEM下是不能看的 10/18 22:54
→ ouo:那台應該是有低真空系統吧...導入帶電水蒸氣離子當導電用.. 10/18 22:55
推 boster:這種CD-SEM會通入Ar..再讓Ar帶電後..撞擊後產生二次電子 10/22 22:13
→ A77103163:鍍上一層碳也行 你鍍金太貴了 10/25 13:37
最近翻閱了SEM的原理
裡面提到SEM試片要求必須是導體
否則應該在表面鍍上一層金
又強調不可是液體或膠狀物質
我們公司有在使用CD-SEM
可是CD-SEM卻可用來觀察晶圓上的光阻影像
光阻是液體狀的，也不導電
卻不要求需是導體或鍍上一層金
這是為甚麼呢
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