[材料] 有關TiO2 sputter

[assking (肛門王)]

基材上塗了一層銀膠(銀膠+環己酮) 滴在基材上

然後用DC sputter 200w Ar: 7 sccm O2: 3 sccm
壓力 10負2 torr

再對照的Si(未塗銀膠) 上 可形成 anatase
在銀膠上卻打不出anatase的XRD peak

嘗試過用秤量紙將銀膠中的高分子拋掉
但sputter後 anatase的 peak還是沒有出來

請高手賜教!

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