[材料] 請益有關KOH的蝕刻技巧

[hedonist891 (hedonist)]

各位先進好@@

小弟在專題上遇到一個困難，想跟版上的先進討教一下

就是我想要作出像這張圖的渠道

http://ppt.cc/leVB

就是圖中綠色被KOH吃掉的等向性蝕刻(我是要吃SiO2)

我自己試過用膠帶貼住不要被蝕刻的區域丟到KOH的溶液中

結果膠帶會跟SiO2分離，最後是整塊SiO2浸在溶液中

我是想問阿，paper都寫利用KOH吃出這種渠道狀的結構

但我想知道除了利用KOH當蝕刻液外，還需要搭配甚麼方法才能吃出這樣的結構？

我有猜是利用光阻來擋住不要被蝕刻的部分，但是這樣是不是就要作一個光罩了@@?

請版上先進解答小弟的疑惑

並祝新年快樂！

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.37.172.219
推 bla:試試看用silicone感壓膠做的膠帶
→ bla:一般壓克力感壓膠黏不住以矽為主成分的被貼物
請問有推薦的牌子嗎@@?

因為我應該會把SiO2放到85度的KOH溶液中，然後我剛才查了wiki的介紹

他說一般PSA tape是在室溫下使用的，所以我怕他無法耐高溫(且耐鹼)

所以想問有沒有推薦的牌子，我去查詢一下這樣

謝謝你的回答~~
※ 編輯: hedonist891     來自: 140.114.253.80       (02/04 15:51)
推 wilson64:3M有一種綠色的膠帶，可耐酸鹼，不過不便宜~
推 quaintness:圖中綠色是Silicon，這是"非等向性蝕刻" 要蝕刻除了KOH
→ quaintness:還有TMAH or EDP, 抗酸鹼膠帶及光阻可以不用試了, 結果
→ quaintness:會是膠帶泡在KOH也不會爛掉,但蝕刻失敗，光阻泡下去也
→ quaintness:是污染蝕刻液而已沒有用..
→ quaintness:土黃色是SiO2或是Nitride, 蝕刻穿通常就是Nitride
→ quaintness:專題生下一道光罩應該不過份,至少是比較正常的作法○rz
→ quaintness:最後 要吃SiO2?!  確定有晶格嗎
推 Numbbreak:那叫 酸鹼膠帶
推 quaintness:那叫 耐酸鹼膠帶 或 抗酸鹼膠帶 吧...報價單還沒看到過
→ quaintness:    酸鹼膠帶 ○rz ...
→ leox243:其實塑膠光罩很便宜......