[問題] 想請問濺鍍相關問題

[silicon123 (宏爺)]

想請問各位板大

是否有聽過鐵氟龍靶材

學名是四氟聚乙烯

簡稱PTFE

請問這種靶材要去哪裡買

直接用電漿打出來的就是 TPFE film 嗎

還有聽說高分子材料若進腔體會汙染然後無法清除

就是連刷都刷不掉嗎

麻煩有經驗的板大分享

謝謝

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 118.166.195.129
推 angor:怕汙染通常會先在腔體內貼鋁箔吧? 第一次聽過鐵氟龍靶,酷!!
推 shy723:我也第一次聽...
推 lu5566:我只知道金屬鈀材....
推 leox243:鐵氟龍竟然可以當靶...鍍出來不會掉膜嗎
推 gamesame7711:我只聽過復合陶瓷 跟金屬 真的有高分子的靶!?
推 phohq:的確有喔  之前看過相關paper
→ silicon123:我是看過有人有用過~所以才想嘗試~不過不知道到底是不
→ silicon123:是用電漿就可以打出film還是還要再添加氟類氣體~
推 IZO:用電漿就可以打出film,但功率不能太高 否則Teflon會軟化
→ IZO:可以鍍成疏水膜,但附著力不好
→ IZO:絕緣靶,用RF power吧
→ silicon123:附著度不好嗎?
→ silicon123:I大有做過類似的實驗嗎~如果有可以請教I大這方面相關
→ silicon123:的知識以及依些注意事項嗎^^
推 ppppanda: 怕污染 使用鋁箔紙包覆腔體  用丙酮清