→ yen21:1.cosputter很多 2.會 WD要try 3.124校友推 05/14 02:10
→ gamesame7711:共濺鍍!? 05/14 15:29
推 IZO:將power鎖相,或是去調整電覽線長度以改變相位,請設備商弄最好 05/14 15:31
推 IZO:主要是RF干擾的問題, 跟gun的距離沒關係 05/14 15:37
感謝各位版大分享的經驗
另外還想請教各為是否有看過或有用過兩支RF Gun同時濺鍍嗎
因為聽很多人講說兩隻RF同時打電漿會互相干擾
還有兩隻Gun的距離太近是否也會互相干擾(還是跟這沒關係)
不知道是否有什麼解決辦法可以解決兩支RF電漿互相干擾的問題
因為小弟需要用的兩個靶材都是絕緣靶
再次感謝各位大大的分享
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