[問題] HF

[youmissi (youmissi)]

請問一下
氫氟酸溶液會吃金屬鎳(膜)或者金屬鎢嗎?
一般而言
氫氟酸溶液大多當作酸洗液
是用來去除什麼物質呢? 油性物質嗎?
謝謝回答

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 113.229.12.134
推 john18575:剛好我再做這一塊,一般純鎳與HF的反應溫度在400C以上
→ john18575:不過因為鎳氧化速率很快,放在空氣中很快形成氧化膜
→ john18575:我查過很多資料,幾乎找不到HF+NiO
→ john18575:HF常用來洗Si晶圓,為的是去除表面的氧化物質
→ john18575:鎳膜在常溫下與HF幾乎不反應,80C以下是安全範圍
推 gamesame7711:etch SiO2