[材料] 蝕刻SnO2

[gamesame7711 (框框)]

目前卡關卡在蝕刻SnO2的材料

所以想詢問一下各位一般在做乾蝕刻以及濕蝕刻的時候
針對蝕刻SnO2
都是用哪些化學材料或行為為主?

(乾蝕刻好像都是通氯氣比較多?)

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