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如題~有強者知道為何在磷擴散的wafer上,使用高濃度硝酸混微量HF,會產生顏色的 原因嗎? 不知道該如何解釋才好QQ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.160.129.112
john18575:你去測EDS,先看表面元素成份,推測不同金屬離子產生顏色 08/19 23:35
mcgradychung:微量是多微? 硝酸會氧化矽 尤其n摻雜的氧化更快 08/20 01:05
mcgradychung:若蝕刻小於氧化 應該有氧化層 但靠硝酸氧化到有顏色 08/20 01:08
mcgradychung:好像又有難度... 08/20 01:08
oscar0513:謝謝!! 08/21 09:58
oscar0513:我猜可能產生一些microstruture 08/21 10:01
PDADDY:樓上正解 08/22 10:17
mcgradychung:XD 自問字答嗎 08/22 16:20
mcgradychung:若是有微結構 我很好奇怎麼造成的... 08/22 16:21
gamesame7711:我沒做過磷擴散再蝕刻 08/24 02:06
gamesame7711:不過在未擴散前 去蝕刻的話 會吃出一些C的樣子 08/24 02:07
gamesame7711:爾後我在拿去做磷擴散 也產生彩色樣 08/24 02:08
theknight:跟磷應該也有關系吧 09/09 00:36