[問題] 關於SEM如何拍到鋁片清楚的截面圖

[gamesame7711 (框框)]

各位資深前輩好

目前老闆派給我的工作是有關於陽極氧化鋁的實驗

我們是使用商業用的鋁片進行電化學加工

目前為止實驗大致上順利


但重點來了

由於鋁片的延展性很高 在切割試片時會因為鋁片的機械性質之形變 將截面結構破壞掉

(我們使用過剪刀、裁紙機、斜口鉗，也使用液態氮低溫處理後再進行切割)

但都無法完美的拍出陽極氧化鋁模板的SEM截面結構(看到模板的成功率很低)

PAPER有諸多商業用鋁片進行陽極氧化鋁的研究 截面都拍得很棒

但並沒有對於在拍攝SEM製作試片時 做過多的描述


我們實驗瓶頸就卡在這...因此想詢問

有沒有能在 不會因為金屬延展性的情況下

拍到陽極氧化鋁模板截面的SEM方法?

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 203.68.164.70
推 greg60711:focus ion beam ?
我們沒有...= =
推 DUGONG:陽極氧化鋁模板通常都很脆吧?沒吃穿嗎?
並沒有吃穿 目前只做幾個小時 想觀察改變一些參數後會得到什麼結構
推 YJM1106:雷射
這個會列入考慮
推 silicon123:鑲埋?
不是@@~
感謝以上幾位資深前輩給的意見!!!

主要是切截面切不成功 不曉得除了雷射 水刀 還有沒有其它方法?
推 DUGONG:所以鋁片是故意要留下來的嗎?把鋁移除呢?
我們的鋁很厚 模板很薄約1um(製程時間短)
※ 編輯: gamesame7711    來自: 203.68.164.32        (12/01 18:07)
推 IZO:Al會很厚嗎?可以彎折的話,彎哲後去觀察凸面
→ IZO:我以前是用此方法看AAO cross section
→ IZO:"髮夾彎"的凸面
→ aerosck:鑲埋+慢切機+研磨
→ gamesame7711:我們這次試試看 謝謝各位前輩