[製程] 濕蝕刻PZT但不會蝕刻到Nitride

[gghh711 (Lara)]

大家好
我想問板上的各位
做MEMS的製程碰到的問題
現今想找一種濕蝕刻的溶劑
可以蝕刻PZT但又讓它不去吃Nitride的溶劑
不知道板上有無解?
謝謝

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