[問題] AZO薄膜電阻值 vs. 時間

[ak88456lq (天意難違)]

在實驗中發現
以射頻磁控濺鍍AZO薄膜  膜厚為325 nm
沉積參數為 功率為80 W
           沉積壓力為5*10^-3 torr
           基板溫度為 室溫
           濺射氣體 氬氣

剛沉積完的薄膜電阻值為12*10^-4 Ohm-cm
隨著沉積後的天數增加電阻值逐漸下降，並逐漸趨於穩定，
薄膜暴露環境為"防潮箱"中(確定有防潮功能)。


從物理現象解釋是什麼原因造成的?
本人資質太差，不知道該如果去解釋該現象，

麻煩高手解惑~"~

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 111.246.182.101
推 pttresident:沒試著去找資料、文獻嗎？0.0
→ pttresident:會不會表面因大氣的氧而電阻上升?
推 a1317775:樓上原PO說是下降ㄟ 所以才不好找吧
→ isco:先確定你的防潮箱是否有作用吧. 電子式溫濕
→ isco:度計拿來量一下
→ isco:不然將sample拿去抽真空去水氣再量一次
→ ak88456lq:回樓上：上升的文獻很好找了，大多把它
→ ak88456lq:歸咎於薄膜產生氧化，進而導致電阻值上
→ ak88456lq:升。但我的量測結果是下降，我老闆說也
→ ak88456lq:是可以解釋，依他的個性會從薄膜物理的
→ ak88456lq:角度去思考它的合理性，但我資質太差找
→ ak88456lq:不出合理的原理去解釋。  ~"~
推 pttresident:抱歉，看錯；有確認isco說的防潮嗎？
→ ak88456lq:回樓上有確認過了，有防潮作用。
※ 編輯: ak88456lq       來自: 140.134.29.100       (08/06 15:28)
推 pttresident:那可能要先確認是否大氣影響，或是大
→ pttresident:氣中哪種氣體的影響
→ pttresident:如存放在高真空環境下是否也同樣結果
→ isco:sample抽真空去水氣候量應該就好了
推 FindScarlett:AZO是否有室溫自身退火的特性?
→ FindScarlett:純金屬隨個室溫存放確實會有電阻下降
→ FindScarlett:的趨勢
→ ak88456lq:回樓上，這個就需要查文獻資料看看囉，
→ ak88456lq:可是依我的印象，氧化金屬跟金屬還是有
→ ak88456lq:差的，物理特性結果應該是不一樣。