[問題] ITO濕蝕刻

[lrsangah01 (看破世界 世界是黑暗的)]

        最近需要做這件事，我需要把ITO薄膜做出粗糙度，

        像是大陸桂林那種石灰岩地形，一根一根的，

        但是濕蝕刻的方是越簡單越好，不要碰黃光，

        請問有推薦的碩論有實驗步驟可以參考嗎?

        現在有點無頭蒼蠅，不知如何是好，

        咪聽也快開天窗了。

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◆ From: 140.125.31.215
→ whiskycola:要做線路圖案才要碰黃光吧 做粗糙度
→ whiskycola:就選擇適當的蝕刻液泡一泡就好
→ isco:濕蝕刻式等向性的,ITO上面又沒光阻你認為呢
→ lrsangah01:isco的意思是只會造成ITO薄膜變薄
→ lrsangah01:而不會粗糙嗎?
→ isco:沒錯
→ isco:讀碩士不是要自己找文獻嗎? 你這樣太.....
→ whiskycola:還是會變粗糙 做AFM就看得出來
→ whiskycola:不然可以用蝕刻膏看看 或許更有效果