[問題] 請問關於蝕刻掉GaN問題

[awsezxcd (最強地球人-克林)]

請問我有一批以圖形化藍寶石基板做底的藍光LED chi,
已經打上電極,現在我想確定圖形化藍寶石基板的形狀,有甚麼好的溶劑能把GaN洗掉
而不吃到藍寶石基板嗎?

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◆ From: 140.118.181.92
推 heats:知道GaN多厚嗎?不考慮用Laser lift off?