[問題] 請問Bubbler氣泡室和trans-LC潔淨的原理

[maryli (mary)]

在半導體製程參考書目上

書中提到爐管擴散製程中

液態trans-LC(C2CH2Cl2)置於氣泡室內

氮氣N2通入氣泡室將trans-LC帶走

trans-LC可以去除爐管金屬離子

請問其中的原理是甚麼?

謝謝

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