[問題] AlN及AlON之蝕刻液

[ermine ()]

各位大大好

目前遇到需要蝕刻AlN以及AlOxNy的情況
發現相關的資訊不是很多

對於AlN, 查到的多以KOH為主
AlOxNy則尚未找到可對其蝕刻的蝕刻液

想請問版上的前輩們
是否有這部份的經驗可分享
或是有任何的建議

謝謝各位了!!

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