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※ [本文轉錄自 Physics 看板 #1I4kl6Nl ] 作者: honusweet (果香) 看板: Physics 標題: [請益] GP-275 convectron gauge混合氣體總壓 時間: Tue Aug 20 12:08:35 2013 小弟的問題是這樣的,通常我們偵測真空條件時, 粗真空(760~10^-3torr)通常會使用此類的熱傳導真空計, 原理部分因不是問題之一,在這就不多加說明了(倘若知道原理,能更方便您釐清, 請來信可以為您詳細解答)。 ---------------------------------------------------------------------------- 問題(操作濺鍍系統) 在真空腔體達到底壓時,通入的反應氣體包括:氮氣、氬氣, 由於我們的真空計同一時間只能做單一氣體的校正(使用的GP275為氮氣做基準), 當通入這兩種氣體,壓力讀值便會失真,要如何求算出混合後的總壓!? 目前想到的方法是,以熱力學的規則溶液求出隨分壓改變的壓力變化, 但活性係數這部分的資料不足(以查過),無法順利求得,想請問還有其他辦法可以 求出嗎!? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.118.38.226
ewings:壓力計讀到的值就是總壓了,通入混合氣體後亂跳那是操作問題 08/20 13:20
是總壓沒錯,不過是失真的總壓,因為通常gp275只能對單種氣體做校正,通入兩 種不一樣氣體就會有偏差,因為真空計還是以校正的單一氣體為基準去作用。 ※ 編輯: honusweet 來自: 140.118.38.226 (08/20 14:24) ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ※ 轉錄者: honusweet (180.177.114.234), 時間: 08/20/2013 22:37:16