[材料] AZO濺鍍薄膜問題 緊急求救

[momotea0326 (摸摸茶)]

小弟先附上相關資料
AZO氧化鋅鋁(2%Al)(德制,可採用DC鍍制薄膜)

DC POWER 50~150W
製程壓力20mtorr~5mtorr

基板溫度為100,200,300,400度

小弟先附上相關資料
AZO氧化鋅鋁(2%Al)(德制,可採用DC鍍制薄膜)
三吋靶

DC POWER 50~150W
製程壓力20mtorr~5mtorr

基板溫度為100,200,300,400度

利用純氬氣進行壓力調整

三吋靶

DC POWER 50~150W
製程壓力20mtorr~5mtorr

基板溫度為100,200,300,400度

利用純氬氣進行壓力調整

製程時間為40min

有使用sem及a-step去確認膜厚至少300nm以上
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但無論怎麼調整參數得到的阻值都是k ohm級別(採用四點探針)
甚至熱退火過(200 400度都試過)
阻值仍然降不下去!
而且電阻率根本量測不到(霍爾)

已經換過兩次靶材了,確認並不是材料問題


至於為何不採用RF呢...有試過 沒一塊有阻值的 也就是變成絕緣體了!

現在小弟唯一能想到的癥結點只剩下
1.基版為普通素玻璃(知識不足不知是否有差異)
2.機台問題(但找不出原因)

懇求各位專業人士們提供其他可能導致此結果的原因T_T
已經快被幹掉了QAQ!
非常感謝><"

參考其他人的文獻至少能做出100 Ohm以內的薄膜..
實在不懂為何如此悽慘

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 120.117.76.209
→ elfishdevil:1.背景真空度? 2.濺鍍壓力可以更低點
→ elfishdevil:(1mtorr) 3.溫度100~200就差不多了
→ elfishdevil:4.先鍍厚一點(500nm以上)
→ elfishdevil:一般來說我覺得1機會最高，一點點氧就
→ elfishdevil:差很多
推 popopin:AZO..先照著文獻的方式做看看吧