[材料] spin coating PMMA薄膜遇到困難

[q11010 (耳朵)]

遇到悠關畢業的難題..

我的實驗需要鍍上一層PMMA薄膜做阻隔層
(阻隔第一層薄膜與溶液值接接觸)

我用甲苯溶2.5wt%PMMA 轉速2000rpm (後來有試過先300再2000)
靜置1小時候90度硬烤再140度軟烤各一小時

發現PMMA薄膜有大量的微米級孔洞平均散佈在薄膜上

且有不少約5~20微米的圓形狀隆起處(後來證實是隆起處未和下層薄膜接觸沒錯)

想請問造成大量孔洞的可能原因
(我用spin coating pmma hole uniform等關鍵字找不到相關文獻@@)
還有什麼比較好的關鍵字可以找

第二個問題是接觸角公式可以適用於甲苯和我的薄膜上嗎
他們的張力會影響到spin時的平整度嗎?
(因為我的薄膜可透過一些參數改變表面張力 不知道有沒有用)


感謝大家了..我們這區過去很少人使用高分子薄膜
所以想找相關資料都沒什麼人可以問 弄好久還是弄不好QQ

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推 whale777:膜跟基材的附著力?
推 KingOfNtust:表面張力
→ q11010:因為有做熱處理 附著力是還不錯
→ q11010:旦從OM來看 孔洞是spin上去時就有了 後烤無
→ q11010:法消除.
推 OhMyAlex:大概是表面沒洗乾淨 髒的點spin coating
→ OhMyAlex:時就被繞過去 表面親和力不好很容易發生
推 OhMyAlex:然後想問你說的接觸角公式是什麼?
→ OhMyAlex:Young's eq.? Wenzel or Cassie model?
→ mdi12345paul:試試看過濾好了~可能狀況會改善。
推 jessti:表面不乾淨
→ jessti:溶液要過小孔徑濾膜
→ q11010:了解 我會重新檢討我試片清潔方式的
→ q11010:接觸角就是把液體滴到薄膜後拍照算夾角的
→ q11010:來判斷液體與固體親合性的那個..不知他正式
→ q11010:名稱是什麼
→ q11010:今天我發現問題的癥結點了 下面那層由PLD鍍
→ q11010:的薄膜就已經有小孔了= = 然後spin無法填補
→ q11010:我會被老師殺頭的 囧>
→ q11010:在某個時間點後鍍的膜通通有均勻孔洞 見鬼