Fw: [問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!

[Harki (Brin)]

※ [本文轉錄自 NEMS 看板 #1NHSBBhY ]

作者: Harki (Brin) 看板: NEMS
標題: [問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!
時間: Wed May 25 23:20:41 2016


各位板有大家好
最近遇到一點問題 太久沒接觸
想請教 Si Wafer 要如何從段裂面/斷裂方向
去判斷 此Si Wafer 晶向是何種?! <100> <110> <111>!?!?

還請各位指點!

謝謝~~~

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※ 轉錄者: Harki (175.181.145.142), 05/25/2016 23:34:04
推 lrm549: 你這是在算掛阿 應該是沒辦法從斷裂面得知
→ lrm549: 晶向 直接用旋轉晶體法 就可以得知了