[請益] 有關Si substrate的蝕刻率

[AlanFan (小又乖乖我去上課)]

   想請問一下使用Ar去蝕刻Si substrate的蝕刻率效果如何?

   是很容易蝕刻還是不容易呢??

   蝕刻率大概可以到那個等級?幾個nm??

   知道的人可以跟我說一下嗎?感謝!!

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