[問題] 想請問一個半導體製程的名詞

[backlu (....)]

最近在一篇論文上面看到 P+S/D Photo(blanket)
我想請問blanket再這邊指的事什麼意思
我目前知道blanket是指P+S/D Photo 的某一項物理性質
類似 N+S/D Implant(Dosage)指的是implant的植入量

麻煩在半導體這方面的高手 可以告訴我blanket的意思
或者提供我這方面資料的網站或書 謝謝 感激不盡~


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