Re: [請益] 關於MIM Cap 的介電材質

[Rigid (陽光下的奇蹟)]

※ 引述《jaseper (誰肯給我錢賭王建民贏阿)》之銘言：
: 請問板上的大大   如果一份文件上寫
: 他的MIM 介電材質是用  PECVD Oxide
: 這代表的是他的介電材質是什麼?
: 是Si3N4 還是  SiO2 還是其他的high-k的介電材質??
: 還有他的崩潰電壓大概會是多少呢?? (30V or 更低?)
: 謝謝!!

        silicon oxide deposited by plasma enhanced-chemical vapor deposition

        the breakdown field will be lower than the silicon oxide grown
        via thermal-chemical vapor deposition

        and the breakdown voltage is equal to the breakdown field multiply
        the thickness of pe-cvd oxide

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.113.196.145
推 jaseper:強者!!