[請益] 通道效應

[yammy1201 (@^_____^@N)]

        為了避免離子佈植時的通道效應..
        其中一個方法是在表面製作一個非晶矽的薄層..
        請問一下利用離子佈植的方法製作此薄層所用
        的離子源該選用什麼離子?三價或五價的離子當離子原有什麼差別嗎?
        謝謝...^^


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