作者pow (體脂肪35%)
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標題Re: [問題] 關於閘極(通道)長度問題...
時間Mon Nov 5 22:55:45 2007
※ 引述《kenny750730 (傷心人)》之銘言:
: 想請問各位在做元件的板友們 所謂90nm 65nm 45nm 製程技術
: 指的究竟是閘極長度(即通道長度)
: 還是說指的是drin 到source
: 的總長度 然後閘極長度(通道長度)是 90/2=40nm多 65/2=30nm多
: 45/2 =22nm多
: 這網站說 http://www.oc.com.tw/readvarticle.asp?id=4166 65nm製程
: 閘極長度是65一半 大約30nm左右
: http://tech.digitimes.com.tw/ShowNews.aspx?zCatId=142&zNotesDocId=7CFECDF24CE92F04482571E200674481
: 這網站說 65nm製程就是閘極65nm長
: 我搞混了.....
: 最近聽到兩個說法 有點搞迷糊 不好意思
: 還請各位板有指點一二 謝謝
第一個網站的來源應該是
ftp://download.intel.com/technology/silicon/65nm%20IEDM%2004%20paper.pdf
請注意
Foundry說的製程名稱不等於實際gate length
那只是代表一個technology node
例如有的號稱.18um 可是Lmin=200nm
還有.13um 可是Lmin=120nm
這種東西不一定的
這跟marketing的訴求比較有關係
至於Lmin是製程名稱除以二
應該是你自己看到intel那篇文章之後推論的吧?
一般來說
製程名稱跟Lmin應該是要蠻接近的
可是為什麼intel的會差這麼多
我想是因為他們沒有把gate oxide跟著變薄
(oxide的厚度才是最critical的因素)
Cox並沒有到達真正的35um製程應有的地步
所以說 他們很公道的claim製程特色:p
我的連結裡面那邊文章說得很清楚
他們用厚的gate oxide(1.2nm)來減少leakage current
搭配strain silicon來增加速度
達成數位電路(logic)low power/high speed的目的
另外
04年8月的文章...
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 152.14.55.218
推 jacobliu:嗯 我喜歡這解釋~~ 11/05 23:05
推 ppc:推 11/07 22:45