[問題] 用光阻當絕緣層

[MrCafe (哈啦Cafe)]

一般半導體製程中，大多是用SiO2、Si3N4...做絕緣層，
但如果直接用光阻(如S1813、PMMA...)來做絕緣層，會有
什麼優缺點呢？

因為有教授說SiO2、Si3N4漏電流很嚴重，建意我用光阻就
好，真的有這樣的事嗎@@"

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◆ From: 61.216.92.220
推 pow:挖靠  光阻厚度只有10A嗎   而且可以搞得這麼平整嗎
→ pow:你做出來保證上eetimes頭條   解決SiO2漏電問題!
→ MrCafe:假設同樣是10nm厚的光阻跟SiO2，我可以從哪些參數或關鍵字
→ MrCafe:查漏電的數值呢？