[問題] 石英震盪器工作原理

[armoni (舉起你的左手說hi)]

請問有誰知道薄膜量測時

用石英震盪器(片)的來量測film厚度的工作原理嗎?

自己google過

可是卻無法融會貫通 為何可用有"壓電"性質的石英 可以量測film的厚度?

當中石英的壓電特性 如何與厚度量測 關聯呢?

可以以最簡單的方式幫我解惑一下嗎

謝謝

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◆ From: 112.104.52.141
→ gerrysu:印象中 是靠共振頻率的改變 所以要知道膜的參數