推 jfsu:不知道磷酸的方向選擇性如何.. 03/08 14:17
推 chaos0214:印象中用磷酸蝕刻鋁必須加熱 03/08 17:40
→ gamesame7711:原來是要加熱阿!? 03/08 19:08
→ gamesame7711:25度C 都沒什麼效果 原來是要加熱... 03/08 19:10
因為這牽扯到製程的部分，所以電資這邊也來問問看，或許可以獲得更多的製程知識。
我的光電元件裡面，有一層結構是鋁，印象中蝕刻鋁的溶液我知道鹽酸可行，但是鹽酸又
會傷害到我的ITO，老師建議我使用濃磷酸蝕刻。
但我上網稍微查了一下，蝕刻鋁通常都是使用混酸或鹽酸，單純只用磷酸蝕刻鋁的方式目
前我尚無查到文獻，請問我教授是不是記錯了?如果記錯我應該有什麼樣的資料可以反駁
他呢?
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 122.122.251.205