[問題] cmos mems oscillator

[tjyee (cloud)]

    請問各位,小弟目前在做mems resonator 的振盪電路,目前是想用TIA來實現,目前
給的mems resonator 的等效lumped mode來放入hspice模擬,但是發現迴路增益很
容易影響震盪頻率,不知道是什麼原因,不知道有沒有前輩模擬過這種電路,請指示一下
,謝謝!(目前覺得是電路的寄生電容影響到resonator model,因為等效model的電容都很小)

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◆ From: 115.43.221.172
推 a29831287:寄生電容極小耶...mems的頻率有這麼高嗎
→ tjyee:電感是幾"亨利",而電容是0.00Xf法拉= =
推 jamtu:電容太小了，不可能work吧
→ jamtu:連CMOS寄生電容都是幾f，MEMS整個size應該是更大才對
→ jamtu:幾H也大到太誇張了，還是做MEMS的都用那麼大@@
→ divhexa:j大可能有誤解  那是機電等效之後的LC  不是實際的LC
→ tjyee:請問d大有設計經驗嗎?是否可以指導一下
推 bb7:d大是MEMS resonator界的新秀~~好好跟他學準沒錯XD
→ divhexa:樓上不要亂說....orz
→ jamtu:感謝樓上解說 既然是等效，可以把model和電路放上來一起討論
→ sneak: 幾H也大到太誇張了，還 https://noxiv.com
→ sneak: 請問d大有設計經驗嗎? https://daxiv.com