[問題] TSMC18um :MOM電容

[Baneling (爆炸一哥)]

最近在設計SAR ADC遇到一些問題

有一些比較前瞻的設計是使用MOM(metal-on-metal)電容取代MIM電容

如此一來可以減輕前級電路的負載(pre-amplifier or buffer)

現在使用的製程是TSMC18um 1P6M的製程

畫MOM電容不是問題,但是目前找不太到萃取電容值的方法

希望對Layout有比較深入研究的版友可以給予一些意見

謝謝~


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 61.60.254.39
推 Gocoba:同樣的loading cap為何MOM可以更好？
→ Baneling:應該說MIM的最小容值是20fF MOM可以做到5fF以下 在不影響
→ Baneling:ADC的效能 cap array(SH&DAC)單位容值當然是越小越好
→ Baneling:前級電路推的負載相對就輕很多
推 jimbox:旁邊掛個電阻就好了
推 sovereignty:metal-oxide-metal
推 tensan:想請教一下 在什麼文件上有說最小電容只能到20fF
→ tensan:怕自己忘了查閱該文件 而畫錯