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作者: Mathew2010 (eyelid) 看板: comm_and_RF
標題: [問題] 光阻曝光
時間: Sat Nov 14 18:22:58 2015
光阻曝光後會有aerial image和latent image
請問這兩個分別是甚麼 我搞混了
我自己的理解如下
aerial image是光通過光罩後被曝光的部分
latent image是光被光罩擋住未曝光的部分
請問這樣是正確的嗎
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