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DI WATER(deioniez water)在電機中的用途是在哪邊 那 它的主要物理特性是怎樣 為啥需要這樣的水 其他有離子的水可以嗎...拜託各位前輩指點迷津吧... -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.70.80.185
eddyda:半導體製程 用來清洗的吧 02/09 23:33
Parhelia:用途是post CMP clean 原因我忘記了 ||| 02/09 23:32
phylin:因為水中沒有離子 去清洗表面不會因此和上面的物質起反應 02/10 06:22
phylin:應該說大部分的離子 不能說是全部 02/10 06:27