※ 引述《CHTZ (耶魯不良品)》之銘言：
: 有人問我
: 如果.....
: 一百萬顆連續的VIA 1%沒開
: 看剖面看到光阻殘留在底部
: 如果蝕刻被狗幹,你要怎麼澄清阿?
你是在wafer finish完切cross-section看到Via沒開嗎?
如果都已經蝕刻完了，才不會在cross-section面看到光阻殘留咧!
那在etch完後的拔光阻應該會連底部的光阻殘留都洗光了吧!
通常我看到Via open，我都會看是不是有scum(scum又得看它的Via profile)
的現象再來決定是不是光阻殘留
或是你可以在Via open底部打EDX看元素來討論看看是誰造成的。
你有照片來拿看一下嗎?!
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